Электродное кольцо фокусирующей головки / экран

1. Обзор продукции

Электроды фокусирующей головки и детали распределителя газа – это высокоточные ключевые компоненты полупроводникового класса, предназначенные для оборудования плазменных процессов обработки кремниевых пластин. Изготовлены из высокочистой высокоизоляционной керамики и специальных токопроводящих материалов, данные прецизионные изделия являются важными сборочными элементами систем фокусирующих головок оборудования. Они разработаны для стабилизации распределения электрического поля и обеспечения равномерной подачи технологических газов, создавая сверхчистые, стабильные и надежные технологические условия для процессов травления и осаждения покрытий.

2. Основная функция и область применения

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->·Основная задача электродов и газораспределительных деталей фокусирующей головки – формирование равномерного электрического поля плазмы и ламинарного распределения технологических газов внутри технологической камеры. Их совместная работа стабилизирует интенсивность плазмы, исключает мертвые зоны технологического процесса и гарантирует стабильные условия реакции при обработке поверхности кремниевых пластин.

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->·Электроды фокусирующей головки воспринимают и передают ВЧ-электрическое поле, создавая стабильную однородную среду для возбуждения плазмы; они являются основным элементом, обеспечивающим точное плазменное травление и процессы осаждения тонкопленочных покрытий.

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->·Газораспределительные детали фокусирующей головки выполнены с прецизионной перфорацией, равномерно рассеивают агрессивные и реактивные технологические газы, предотвращают турбулентность газового потока и локальные перекосы концентрации, повышая равномерность обработки всей поверхности кремниевых пластин.

3. Ключевые эксплуатационные требования и преимущества

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->Данные детали длительно эксплуатируются в среде высокоэнергетической плазмы, под воздействием высокочастотных электрических полей и агрессивных технологических газов, поэтому полностью соответствуют строгим эксплуатационным стандартам полупроводниковых технологических процессов:

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->·Отличная электрическая стабильность: обладают высокой диэлектрической прочностью и стабильными токопроводящими свойствами, выдерживают воздействие высокочастотных электрических полей и предотвращают электрический пробой, сохраняя стабильный эффект возбуждения плазмы на протяжении всего срока эксплуатации.

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->·Высокая стойкость к плазменному и химическому воздействию: эффективно сопротивляются плазменному распылению и коррозионному влиянию газов на основе фтора и хлора, предотвращают деградацию поверхности и образование частиц, снижая риски технологического загрязнения.

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->·Высокая размерная и конструктивная стабильность: прецизионное монолитное формование обеспечивает равномерное расположение отверстий и ровность поверхности электродов, низкая степень термической деформации гарантирует сверхвысокую повторяемость технологических режимов при непрерывном массовом производстве.

4. Варианты исполнения продукции

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->Линейка продукции включает множество типоразмеров и модификаций по индивидуальному заказу для соответствия различному технологическому оборудованию и техническим требованиям:

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->·Стандартные электроды фокусирующей головки со стабильной электропроводностью для оборудования традиционного плазменного травления и осаждения покрытий.

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->·Высокоточные газораспределительные детали фокусирующей головки с разнообразными схемами расположения отверстий и разными расходами газа для обеспечения равномерной подачи технологических газов.

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->·Комплектные узлы фокусирующей головки и изготовленные по спецзаказу конструктивные компоненты с уникальными габаритами для специализированного полупроводникового технологического оборудования.