Керамический купол

1. Обзор продукции

Керамический купол – это высокоэффективный прецизионноизготовленный компонент, предназначенный для оборудования полупроводникового производства для процессов нанесения покрытий и травления. Является важной деталью камеры, создающей контролируемую чистую среду для обработки кремниевых пластин.

2. Основная функция и область применения

Основное назначение керамического купола – формирование чистой, инертной и защищенной среды внутри камеры оборудования для нанесения покрытий. В ходе производственного процесса химические реакции внутри данной камеры приводят к осаждению сверхтонких слоев металлов, диэлектриков или полупроводниковых материалов на кремниевые пластины.

·

Выполняет функцию удерживающего барьера для плазмы и реакционных газов, используемых в процессах PVD, CVD и травления. ·

 

Поддерживает чистоту и стабильность технологической среды, обеспечивая равномерное нанесение покрытий и предотвращая загрязнение кремниевых пластин.

3. Ключевые эксплуатационные требования и преимущества

Поскольку купол непосредственно подвергается воздействию высокоэнергетической плазмы во время процессов нанесения покрытий и травления, он должен соответствовать строгим критериям эксплуатационных свойств материалов: ·

 

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->Высокая стойкость к плазме: противостоит эрозии, деградации и распылению при длительном воздействии высокоэнергетической плазмы, сводя к минимуму образование частиц и увеличивая срок службы изделия.

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->Высокая степень чистоты: изготовлен из сверхвысокочистой керамики, исключает риск загрязнения, способного снизить выход годных пластин и ухудшить характеристики приборов. ·

 

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->Высокая диэлектрическая прочность: обладает превосходными электроизоляционными свойствами, выдерживает сильные электрические поля, необходимые для формирования и поддержания плазмы, обеспечивает стабильность технологического процесса и предотвращает электрический пробой.

4. Варианты исполнения продукции

Линейка продукции включает ряд модификаций под требования различного оборудования и технологических процессов: ·

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->Монолитные куполы для стандартных процессов нанесения покрытий.

 

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->Куполы с прецизионно выполненными отверстиями для ввода газов или ВЧсигнала, изготовленные под конкретные модели установок.