О нас
Наша компания поставляет высокоэффективные ключевые компоненты и комплексные индивидуальные решения «под ключ» для всех основных технологических камер полупроводникового оборудования, включая сухое травление, CVD, PVD, термическую диффузию, MOCVD, ALD, плазменную очистку и другое основное технологическое оборудование. Мы полностью удовлетворяем потребностям полного цикла поддержки производства кремниевых пластин: от фронтального изготовления микросхем до эпитаксиального производства.
На предприятии установлено полное комплектование профессионального высокоточного производственного оборудования, включая печи изостатического прессования, высокотемпературные обжиговые печи, микронные станки с ЧПУ для шлифовки, оборудование для зеркальной полировки, линии сверхчистой химической очистки и контрольно-измерительные участки в чистой комнате класса ISO 7. Руководящий состав и основные технические специалисты обладают более чем 10-летним богатым практическим опытом в области точного изготовления и сверхточной обработки полупроводниковых деталей из керамики, кварца и кремния, отлично знакомы с строгими технологическими требованиями ведущих зарубежных производителей оборудования.
Все этапы производственной цепочки – очистка сырья, стандарты точной механической обработки, контроль допусков размеров, проверка поверхностных частиц и сверхчистая химическая очистка – строго соответствуют высшим международным стандартам качества производителей оригинального оборудования (OEM). Гарантируется стабильная повторяемость характеристик при массовых поставках. Мы стремимся к полному самостоятельному освоению разработки и производства ключевых расходных материалов для полупроводниковой отрасли: высокочистых кварцевых деталей, компонентов из высокоглиноземистой керамики и запасных частей из монокристаллического кремния, ускоряем реализацию надежного импортозамещения взамен дорогостоящих оригинальных импортных комплектующих.
Мы осуществляем гибкое изготовление по индивидуальным чертежам заказчика с учетом размерных параметров, рабочей среды и требований эксплуатации в агрессивной плазменной среде. Поставляем готовые изделия высокой чистоты с низким содержанием частиц, устойчивые к воздействию плазмы, а также полный комплекс профессиональных технических услуг: консультации по выбору материалов, изготовление опытных образцов, проверка размеров, послепродажная техническая поддержка и планирование поставок крупных партий продукции. Все решения адаптируются под разнообразные потребности производителей оборудования, фабрик по производству микросхем и поставщиков полупроводниковых материалов.
Полупроводниковые компоненты | Профессиональное высокоточное производственное оборудование
Серия изделий из высокочистой керамики
Наши прецизионные керамические детали широко применяются в различном основном полупроводниковом оборудовании: камерах сухого травления, ионных имплантерах, установках тонкопленочного осаждения, системах атомно-слоевого осаждения (ALD), эпитаксиальных печах MOCVD и высокотемпературном оборудовании для диффузии. Основная продукция из керамики включает керамические манипуляторы для переноса пластин, теневые кольца, фокусирующие кольца, форсунки, смотровые окна и изоляционные втулки. Изделия способны длительно работать в условиях непрерывного производства при высоких температурах, воздействии галогенной плазмы и интенсивной ионной распылении.
