Керамическое смотровое окно

1.Обзор продукции

 

Смотровое керамическое окно – это высокочистый высокоизоляционный точный компонент, разработанный для плазменных технологических процессов и вакуумных камер полупроводникового оборудования. Являясь важной деталью, обеспечивающей оптическую и электрическую изоляцию технологических камер, он изготавливается из плотной высокотехнологичной керамики с сверхнизким содержанием примесей. Компонент отличается отличной целостностью конструкции и ровностью поверхности, обеспечивает стабильную диэлектрическую изоляцию и надежные условия передачи света и сигналов для ключевых производственных процессов: травления и нанесения покрытий на кремниевые пластины.

 

2. Основная функция и область применения

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->·Выполняет функцию прозрачного изолирующего барьера технологических камер полупроводникового оборудования, изолирует высокочастотные электрические поля и обеспечивает стабильное формирование плазмы при процессах PVD, CVD и травления.

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->·Обеспечивает оптический контроль и передачу сигналов для insitu мониторинга технологического процесса, при этом блокирует попадание внешней пыли и примесей, поддерживая чистоту внутреннего объема камеры и герметичность вакуума.

3. Ключевые эксплуатационные требования и преимущества

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->·Поскольку керамическое смотровое окно при длительной работе подвергается бомбардировке высокоэнергетической плазмой, воздействию сильных электрических полей и коррозионных технологических газов, оно соответствует строгим критериям качества полупроводникового класса:

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->·Высокая диэлектрическая прочность и изоляционные свойства: обладает превосходными электроизоляционными характеристиками, эффективно противостоит воздействию высоковольтных электрических полей, предотвращает утечку тока или пробой, обеспечивая непрерывную стабильность технологического процесса.

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->·Отличная стойкость к плазме и химическому воздействию: выдерживает длительное ионное распыление плазмой и эрозию коррозионных газов на фтор и хлорсодержащей основе, предотвращая деградацию поверхности, выпадение частиц и снижение срока службы.

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->·Высокая чистота и размерная стабильность: изготовлено из сверхвысокочистого керамического сырья с низким коэффициентом теплового расширения, сохраняет стабильные геометрические размеры и ровность поверхности при тепловых циклах и тяжелых условиях эксплуатации, гарантируя долговременную точность герметизации и изоляции.

4. Варианты исполнения продукции

··Линейка продукции включает изделия разных размеров и конструктивных решений для соответствия требованиям различного полупроводникового оборудования и технологических процессов:

··Стандартные плоские керамические смотровые окна для обычных задач изоляции камер и оптического мониторинга.

··Высокоточные индивидуально изготовленные керамические смотровые окна специальной толщины и допусков для высокоточного плазменного технологического оборудования.

··Герметичные узлы керамических смотровых окон с готовыми монтажными элементами под конкретные требования сборки вакуумных камер.