Компоненты для процессов травления

1. Обзор продукции

Детали для травления – это высокоточные расходные и конструктивные компоненты полупроводникового класса, специально разработанные для систем процессов травления кремниевых пластин. Они изготовлены из высокочистой глиноземной керамики, плавленого кварца и коррозионностойких неорганических материалов. Данная линейка изделий охватывает полный набор ключевых комплектующих для оборудования сухого, мокрого и плазменного травления. Компоненты обеспечивают сверхчистую среду внутри технологической камеры, стабильное состояние плазмы и постоянную точность технологического процесса, являясь незаменимыми элементами для высокоточного формирования топологии на пластинах и регулирования выхода годных изделий при массовом производстве.

 

2. Основная функция и область применения

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->Детали для травления выполняют основные задачи: экранирование плазмы, электроизоляцию, равномерное распределение потока технологических газов и защиту краев кремниевых пластин в процессах полупроводникового травления. Они эффективно ограничивают высокоэнергетическую плазму, изолируют паразитные разряды, оптимизируют поле потока внутри камеры и обеспечивают точное стравливание материалов с равномерным формированием схемных рисунков на поверхности пластин.

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->Линейка продукции включает керамические экранирующие кольца, фокусирующие кольца, изоляционные кольца, керамические форсунки, куполы крышек камер, экранирующие пластины и другие ключевые расходные элементы для травления. Широко применяются при оксидном, металлическом, кремниевом травлении и процессе глубокого реактивного ионного травления (DRIE).

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->Данные компоненты стабилизируют однородность плазмы, снижают образование частиц, сопротивляются химической коррозии и распылению под воздействием плазмы, сводят к минимуму дефекты по краю пластин и поддерживают долговременную стабильность скорости травления и равномерность обработки поверхности при массовом изготовлении полупроводниковых изделий.

3. Ключевые эксплуатационные требования и преимущества

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->Детали для травления эксплуатируются непрерывно в экстремальных условиях высокого вакуума, повышенных температур, сильных электрических полей и агрессивных галогенсодержащих газов, поэтому соответствуют строгим стандартам полупроводникового производства:

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->Высокая стойкость к плазменному распылению: изготовлены из плотной чистой керамики и кварцевых материалов, выдерживают длительное бомбардирование плазмой и воздействие газов на основе фтора и хлора, предотвращая отслоение поверхностного слоя, загрязнение частицами и деформацию компонентов.

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->Сверхвысокая чистота и минимальное количество дефектов: состав без выделения металлов с предельно низким содержанием примесей эффективно исключает металлическое загрязнение кремниевых пластин и микродефекты, повышает стабильность технологического процесса и выход годных изделий.

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->Отличные изоляционные свойства и размерная стабильность: низкий коэффициент теплового расширения и превосходные диэлектрические характеристики исключают конструкционную деформацию при частых тепловых циклах, сохраняют точные монтажные допуски и стабильное распределение плазмы.

4. Варианты исполнения продукции

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->·Полная линейка стандартных и изготовленных по индивидуальному заказу деталей для травления охватывает все типоразмеры для популярного полупроводникового оборудования травления:

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->·Компоненты для экранирования плазмы и защиты камеры: керамические куполы-крышки, экранирующие кольца и изоляционные баффлы-перегородки.

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->·Элементы настройки плазмы, такие как фокусирующие и изоляционные кольца, предназначенные для оптимизации равномерности обработки краев пластин.

<!--[if !supportLists]-->· <!--[endif]-->·Высокоточные функциональные детали: форсунки для подачи технологических газов травления, распределители потока и индивидуальные конструктивные элементы для современных установок процессов травления.